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http://dspace.univ-tiaret.dz:80/handle/123456789/3120| Title: | L’influence de divers paramètres sur le processus de pulvérisation RF dans les décharges électriques |
| Authors: | Guidoum, Salah eddine Khaldi, Ali |
| Issue Date: | 2016 |
| Publisher: | Université Ibn Khaldoun -Tiaret- |
| Abstract: | Ce travail est consacré à l’étude de la pulvérisation cathodique et le dépôt des couches minces par plasma. L’objectif des travaux présentés ici étant de faire une simulation avec un logiciel très développé qui s’appelle SRIM2008 ((Stopping and Range of Ions in Matter) permet de calculer les taux de pulvérisation cathodique dans les décharges électrique RF en fonction des énergies appliquées, ensuite on a procédé à la comparaison des résultats de simulation |
| URI: | http://dspace.univ-tiaret.dz:80/handle/123456789/3120 |
| Appears in Collections: | Master |
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