La désorption des ions H- à partir de silicium poreux par impact des électrons de trait faible énergie

Abstract

ous avons présenté dans ce chapitre les différentes phénomènes de dissociation des molé- cules, ainsi que le dispositif expérimental utilisé en ESD. Ce chapitre représente une base scientifique pour bien comprendre le phénomène de la dé- sorption des ions H¯ provoqués par un bombardement électronique de faible énergie, à partir de silicium poreux.