ETUDE MICROSTRUCTURELLE DU ROLE DE L'HYDROGENE DANS LA CRYSTALLISATION INDUITE DU SILICIUM AMORPHE HYDROGENE DEPOSE PAR PULVERISATION CATHODIQUE MAGNETRON RADIO FREQUENCE (RFMS)

Abstract

Nous avons suivis les premières étapes de la croissance du silicium nanocristallin en faisant varié le temps de dépôt, afin de comprendre le mécanisme de la croissance induite du silicium amorphe. A partir des résultats présentés au chapitre IV, nous pourrons argumenter et dire que l'hydrogène joue un rôle très important dans la transition du silicium de la phase amorphe à la phase nanocristalline. A partir des différentes techniques de caractérisations collectées, montrent clairement qu'à partir de première seconde à quelques minutes; la formation d'une sub-surface amorphe très riche en hydrogène.