Effet de la température sur l’élargissement du faisceau dans le microscope électronique à balayage à haute pression

Abstract

Le microscope électronique à balayage à haute pression (HPSEM). Est une nouvelle dimension de la microscopie électronique a balayage qui permet d’analysé les échantillons dans un milieu gazeux Cependant cette analyse, rencontre un défi majeur en ce qui concerne la diffusion du faisceau d'électrons primaires par les atomes/molécules du milieu gazeux. Ce phénomène de diffusion (skirt) conduit à l'apparition de plusieurs artéfacts au-delà de ceux qui sont familiers dans un MEB conventionnel. Le principal artéfact reconnu est la dégradation de la résolution spatiale qui est délimitée par le volume d'interaction. L’objectif de la recherche rapportés ici sont les suivants : étudier par la méthode Monte Carlo l’effet de la température sur la trajectoire et l'élargissement de faisceau d'électrons primaires ( skirt ) dans la vapeur d’eau .