MODELISATION DES MESURES D’EFFUSION THERMIQUE DE L’HYDROGENE DU SILICIUM AMORPHE NANOSTRUCTURE (POLYMORPHE)

Abstract

Nous avons utilisé des mesures d'effusion thermique de l'hydrogène à partir des couches de silicium polymorphe pm-Si-H à différentes épaisseurs dans l'objectif de révéler les processus donnant naissance aux différentes contributions du spectre d'effusion d'un tel matériau.Quoique les résultats de calcul par la formule de KISSINGER n'ont été pas concluants. la cause de la divergence des résultats est due principalement au fait que les pic P2 et P3 ne pas présentant des maximums des pics assez précis qui a pour conséquence de ne avoir des résultats comparables à ceux de la littérature en ce qui concerne le coefficient de diffusion et l'énergie d'activation.