La simulation des décharges luminescentes dans la fabrication des dispositifs à semi-conducteurs

Abstract

Une décharge luminescente peut fonctionner en mode continu (dc), RF ou en mode impulsionel à partir d’une décharge continue ou RF. La décharge luminescente continue est principalement utilisée pour l’analyse directe de solides conducteurs (métaux, …..) et semi-conducteurs avec, typiquement, une tension de 1 kV et un courant de 10 mA, Dans ce travaille on étudie les divers paramètres qui influent la fabrication des couches minces de semi-conducteurs utilisées largement ces dernières années dans l’industrie pour la fabrication de divers composantes des microordinateurs et spécialement les circuits intégrées. Une simulation à l’aide d’un logiciel très développé qui s’appelle SRIM (Simulation and range of ions in mater) avec la variation de tension et pour diffèrent matériaux en semi-conducteurs a pour but d’avoir l’influence de ces 2 paramètres sur le processus de la pulvérisation cathodique dans les plasmas et en fin sur la microstructure de ces couches minces.